有人有UF200A的资料吗?能给我一份吗? UF200A自动探针台是由精密机械移动系统、精密测量系统和计算控制系统组合而成的自动检测设备,它的主要原理是:8英寸半导体晶片通过盒卡式载片台进入设备传输轨道,通过TSK UF200A内部图像处理和传感系统进行半导体晶片自动对位,表面自动识别和特征图形(或特征电路)自动捕获,通过探针向半导体晶片电路施加不同的电信号,同时捕获来自半导体晶片的反馈信号。这些信号再经过计算机控制的测试系统处理,判别是否正确,实现对半导体晶片内部物理电特性的分析和检测,自动完成8英寸半导体晶片集成电路设计验证和性能测试。提供给你的只有这么多了,希望能帮到你!
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