PECVD工作原理是什么？ 1PECVD工艺的基本原理 PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的。
焊接分为哪三类？各有何特点？ 焊接分类及特点如下：1、钎焊：适合于各种材料的焊接加工，也适合于不同金属或异类材料的焊接加工。采用比母材熔点低的金属材料做钎料，利用液态钎料润湿母材，填充接头间隙，并与母材互相扩散实现链接焊件。2、熔焊：适合各种金属和合金的焊接加工，不需压力。加热欲接合之工件使之局部熔化形成熔池，熔池冷却凝固后便接合，必要时可加入熔填物辅助。3、压焊：焊接过程必须对焊件施加压力，属于各种金属材料和部分金属材料的加工。扩展资料：1、焊接是一个局部的迅速加热和冷却过程，焊接区由于受到四周工件本体的拘束而不能自由膨胀和收缩，冷却后在焊件中便产生焊接应力和变形。重要产品焊后都需要消除焊接应力，矫正焊接变形。2、焊接的密封性好，适于制造各类容器。发展联合加工工艺，使焊接与锻造、铸造相结合，可以制成大型、经济合理的铸焊结构和锻焊结构，经济效益很高。3、熔池温度，直接影响焊接质量，熔池温度高、熔池较大、铁水流动性好，易于熔合，但过高时，铁水易下淌，单面焊双面成形的背面易烧穿，形成焊瘤，成形也难控制，且接头塑性下降，弯曲易开裂。4、未来的焊接工艺，一方面要研制新的焊接方法、焊接设备和焊接材料，以进一步提高焊接质量。
为什么不可以直接用扩散泵对镀膜室内部抽高真空 有的时候新扩散泵油需要多用几次真空度才会有所提高。检查一下新加的扩散泵油油量和型号与所用扩散泵是否相符。检查一下高真空规管是否被油蒸汽污染（换一只新规管试一下）以及规管连线部分是否正常。检查一下前级真空（低真空）真空度是否正常。检查一下被抽系统内壁是否有污染物附着（例如油蒸汽）。如果都没有问题，那么就只能重新对系统进行检漏了。
真空泵原理
