离子泵的溅射抽气机理

请问大家什么是牵引泵？它的工作原理和优点是什么？ 牵引分子泵概述分子真空泵是在1911年由德国人盖德(w·Gaede)首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械。离子泵的溅射抽气...