多晶硅产业中会用到哪些工业气体.请阿里巴巴生意经的高手、专家们帮忙看下 二氧化硅氟化硅烷

硅烷（SiH4）和三氟化氮(NF3)的反应产物是什么？有水参加反应：8 NF3+SiH4+11 H2O=24 HF+8 NO+H2SiO3 无水参加反应：8 NF3+3 SiH4=4 N2+3 SiF4+12 HF硅烷（SiH4）和三氟化氮...