变角度光谱椭圆偏振仪 椭圆偏振技术的优势

薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生椭圆偏振光谱仪厂家哪家好！椭圆偏2113振...