EDS 和 EDX 有什么区别 俄歇能谱仪 是xps吗

EDS、EDX和EDXRF有什么区别？EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS，或者俄歇分析(AES：-edxrf，eds，edx，区别一个试样可以兼做XRD光电子能谱俄歇能谱分析吗...