四氟化碳 与硅和二氧化硅的反应有毒吗，对人体有医学吗，等离子刻蚀机的辐射大吗 四氟化硅有毒

四氟化硅在常温下是不是气体？ 四氟化硅（SiF4）无色、有毒、有刺激性臭味的气体。密度4.69gL，熔点-90.2℃（1.73×105Pa）。四氟化硅在潮32313133353236313431303231363533e58685e5aeb...