SF6气体有哪些缺点？ 六氟化硫刻蚀二氧化硅

国光微纳平台反应离子刻蚀机操作方法，武汉光电国家实验室微纳平台有一台国产的RIE，设备老旧，但还能用。因为部分零件损坏，只能采取非常规的操作方法。。有谁了解六氟化硫有哪些作用？求解答：主要用于高压开关中灭弧，在大容量变压器和高压电缆中作为绝...