目前氦的化合物 只有二氧化氦 ，是一种蚀刻剂吗？ 由于二氧化氦非常容易分解（二氧化氦在高于？219°C时自发分解为氦气和氧气），所以经常利用此性质进行干法蚀刻，蚀刻时，利用氧气的氧化性和氦气的稳定性，在物质表面形成。氧气 O2氢气 H2氮气...
