椭圆偏振光测厚仪原理 如何测量几微米厚度的的东西，或者更薄？

薄膜厚度静态和动态监测方法分别有哪些？ 薄膜厚度和沉积率的2113实时监测主要有哪些方法5261最佳答案真空镀4102膜就是置待镀材料和被1653镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的...