SF6有毒吗？在工厂上使用SF6进行刻蚀，这种工艺对人体有害吗？ 六氟化硫对二氧化硅的刻蚀o

什么是标准气体？什么是特种气体？ 气体工业名词术语（标准气体、高纯气体、特种气体）1.特种气体(Specialty gases)：指那些在特定领域中62616964757a686964616fe4b893e5b19e313332646631...