如何清洗硅片 硅片氧化层不均匀的原因

硅片在什么情况下会氧化 个人感觉，硅片放在空气中，自然条件下即会缓慢地形成氧化层。时间长了，原本导电性还过得去的硅片就会慢慢地变得绝缘起来.而且硅片表面的氧化层还不太好除去，最好还是放在液体中封存~MEMS加工工艺中，硅片氧化二氧化硅层及氮...