二氧化硅相对介电常数是3.9还是3.97 氧化层介电常数

硅板上氧化层厚度的测定方法 1.利用刻蚀工艺，比如说加2113多少5261刻蚀剂在多少时间内可以刻蚀多少的厚度，然后4102对比参考数据2.光学的方1653法，利用硅和氧化硅的折射率的差别，从而使圆偏光变成椭偏光，利用软件来计算，可以得到氧...