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原子层沉积和化学气相沉积有什么不同 原子层沉积 氧化铝
原子层沉积gas-line是什么意思 原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面,它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体...
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