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硅片自然氧化层厚度与掺杂率 芯片上有成千上万个晶体管,是怎么安上去的?
半导体外延生长有哪些方式 外延(Epitaxy,简称2113Epi)工艺是指在单晶衬底5261上生长一层跟衬底具有相同晶格4102排列的单晶材料,外延层可以是同质外延层(SiSi),也可以是异质外延层(SiGeSi 或SiCSi等);同样实...
半导体外延生长有哪些方式 外延(Epitaxy,简称2113Epi)工艺是指在单晶衬底5261上生长一层跟衬底具有相同晶格4102排列的单晶材料,外延层可以是同质外延层(SiSi),也可以是异质外延层(SiGeSi 或SiCSi等);同样实...