椭圆偏正光法 椭圆偏振法结果图

椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别 选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明，椭圆偏振法的精度较高，但对于。椭圆偏振光通过14波片后是否一定能变成。 圆偏振光加18波片之后是椭...