化学气相沉积涂层分析 何为化学气相沉积（CVD）？

何为化学气相沉积（CVD）？ CVD是ChemicalVaporDeposition的简称，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属。化学沉积的化学气相沉积...