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表面钝化工艺的概述 磷通过热生长二氧化硅层在硅中的扩散
太阳能电池片去PSG工艺是什么 PSG(Phospho Silicate Glass)是磷硅玻璃的意思,在太阳能电池片的扩散工艺后,硅片表面会形成一层PSG,必须去除。扩散原理:POCl3在高温600℃。硅基生物在理论上存在吗?或者有对它们...
太阳能电池片去PSG工艺是什么 PSG(Phospho Silicate Glass)是磷硅玻璃的意思,在太阳能电池片的扩散工艺后,硅片表面会形成一层PSG,必须去除。扩散原理:POCl3在高温600℃。硅基生物在理论上存在吗?或者有对它们...