椭圆偏正光法测薄膜厚度 椭圆偏振仪测量薄膜厚度实验

薄膜厚度测量的薄膜厚度的测量方法 随着科技的进步和抄精密仪器的应用2113，薄膜厚度的5261测量方法有很4102多，按照测量的方式分1653可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度...