晶圆的几寸线与几纳米的工艺有什么关系吗？ 芯片尺寸对应力影响

晶圆的几寸线与几纳米的工艺有什么关系吗？ 有的。2113一、几寸指的晶圆大小（5261直径），几纳米指的晶体管之间的距离。它描述了4102该工艺代1653下加工尺度的精确度。二、它并非指半导体器件中某一具体结构的特征尺寸，而是一类可以反映出...