三氟化氮是怎样生产的？ 三氟化氮属于什么化学品

三氟化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，它无色、无臭，在潮湿的。 三氟化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，它无色、无臭，在潮湿的空气中能发生下列反应：3NF3+5H2O=2NO+HNO3+9HF，下列有关...