椭圆偏振技术的简介 椭圆偏振仪测厚度

薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生线偏振光通过14波片，12波片后，偏振状态...