肼与氟反应生成氮和氟化氢 1mol冰中有几mol氢键

什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢？ 我知道的主要是真空镀膜设备，太阳能电极板之类的东西镀膜用，材料很多，但是基本上都是这种对人体十分有害的东西好像还不是产生的废气，算不上，只是使用不完全造成的残留物有哪些化学物质被列为高毒物品？ 根据《高毒物...