五氟化硅化学式 氟化硅（SiF

关于硅的化合物的化学反应方程式 Si3N4+12HF=3SiF4+4NH33SiF4+2N2+6H2=Si3N4+12HF四氟化硅制取硅 可以一步反应，2113用氢气还原即5261可SiF4+2H2=4HF+Si(由于反应物皆4102为气体...