氧化层厚度怎么测 硅板上氧化层厚度的测定方法

硅板上氧化层厚度的测定方法 1.利用刻蚀工艺，比如说加多少刻蚀剂在多少时间内可以刻蚀多少的厚度，然后对比参考数据2.光学的方法，利用硅和氧化硅的折射率的差别，从而使圆偏光变成椭偏光，利用软件来。氧化层厚度怎么测 一般用眼睛看，看不见的就是很...