光谱椭圆偏振 椭圆偏振技术的优势

请问华中科技大学光学与电子信息学院有没有椭圆偏振光谱仪呀？谢谢啦 虽然我在这边只用过一般的光谱仪，但这边各种仪器都很多。肯定有的。薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有1...