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椭圆偏振法的测量厚度原理 椭圆偏振法测薄膜厚度测量时,投射到样品的入射光的入射角是多少度
椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别 选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明,椭圆偏振法的精度较高,但对于。椭圆偏振技术的简介 分析自样品反射之极化光的改变,椭圆偏振技术可得到...
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