水吸收四氟化硅生产氟硅酸 四氟化硅在常温下是不是气体？

什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢？ 我知道的主要是真空镀膜设备，太阳能电极板之类的东西镀膜用，材料很多，但是基本上都是这种对人体十分有害的东西好像还不是产生的废气，算不上，只是使用不完全造成的残留物过量氢氟酸与二氧化硅反应到底是生成四氟化硅还...