四氟化碳对人体有什么危害 四氟化碳和四氟化硅的比较

四氟化碳对人体有什么危害 你好，楼主：【四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧...