椭圆偏振仪 70度 什么叫旋光度？

小于10nm的SiO2薄膜厚度怎样准确测量？ 这两家都是自动膜厚测量设备，适用于8寸和12寸硅片。KLA-Tencor膜厚设备集成了宽波长段(波长190nm-800nm，190是选配)椭圆偏振法，宽波长段反射测量法，单波长(激光源)椭圆。椭...