薄膜厚度测量的薄膜厚度的测量方法 随着科技的进步和抄精密仪器的应用2113，薄膜厚度的5261测量方法有很4102多，按照测量的方式分1653可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度，常见的直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）；间接测量指根据一定对应的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类：称量法、电学法、光学法。常见的称量法有：天平法、石英法、原子数测定法；常见的电学法有：电阻法、电容法、涡流法；常见的光学方法有：等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生
椭圆偏振法测薄膜厚度测量时，投射到样品的入射光的入射角是多少度 椭圆偏振反射测试膜厚区别选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明，椭圆偏振精度较高，于数量级几十nm光薄
