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椭圆偏振技术的简介 椭圆偏振光谱的应用

2021-04-28知识20

圆二色光谱的原理 光是横电磁波,是一种在各个方向上振动的射线。其电场矢量E 与磁场矢量H 相互垂直,且与光波传播方向垂直。由于产生感光作用的主要是电场矢量,一般就将电场矢量作为光波的。

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椭圆偏振技术的实验细节 (标准)椭圆偏振测量四个史托克参数(Stokes parameters)中的两个,通常以Ψ 及 Δ来表示。入射至样品的光之偏极化状态可被分解成“s”及“p”两项(“s”成份为光之电场振汤垂直入射平面,“p”则平行)。“s”及“p”成份之振幅(强度)在反射及对其初始值做正规化之后,分别标示为 rs及 rp。椭圆偏振测量 rs与 rp之比例,此比例可以下述基本方程式来描述:其中,tanΨ为反射后之振幅比,Δ为相位移(相差)。由于椭圆偏振系测量两项之比值(或差异)而非其绝对数值,因此这技术所得的数据是相当正确且可再现的,其对散射及扰动等因素较不敏感,且不需要标准样品或参考样品。磁光广义椭圆偏振(Magneto-optic generalized ellipsometry,MOGE)是一先进红外光光谱椭圆偏振技术,用来测量在导体样品中自由电荷载子之特性。藉由外在磁场,便有可能独立地决定电子密度(en:Electron density)、光学之电子移动力(EN:electron mobility)参数及自由电荷载子之有效质量(en:effective mass)。在无磁场的状态下,只可能取得其中两项自由电荷载子参数。

#椭圆偏振光谱的应用

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