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什么是半导体材料? 超晶格薄膜制备方法

2021-04-27知识1

王淑芳的教育科研 主讲课程和研究方向:主讲课程:研究生专业英语、等离子体技术 研究方向:氧化物薄膜及其异质结的输运特性研究 主要授权专利:1.王淑芳、陈明敬、傅广生等“一种P-n异质结光探测器”2.王淑芳、何立平、于威、傅广生等“一种过渡金属氧化物p-n异质结极其制备方法”3.王淑芳、戴守愚、周岳亮等“一种制备硼靶的方法”主持主要科研项目:1、科技部973项目二级子课题:斜入射光反射差法用于生物大分子相互作用的机理与装置研究 2、国家自然科学基金:铋锶钴氧热电薄膜的外延生长及其相关特性研究 3、河北省教育厅百名优秀创新人才支持计划:新型钴氧化合物热电薄膜、超晶格制备及其热电性能研究 4、河北省教育厅重点项目:铋锶钴氧热电薄膜的外延生长及其相关器件研制 5.河北大学首届杰出青年基金:错配层钴氧化合物薄膜及其异质结的热电、光电性能研究

常用的物理镀膜方法有几种 薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式。1、真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料),属于物理气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜,故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中,以塑料最为常见,其次,为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料,塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势,因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构。

什么是超晶格材料? 所谓超晶格,就是指由两种不同的半导体薄层交替排列所组成的周期列阵。如镓铝砷/镓砷、锗—硅/硅等超晶格材料,是制备半导体光电子学、光子学材料和器件的重要技术,研究的人员很多,各国投入的财力也很大。利用超晶格多层结构制备“弹道晶体管”和“高电子迁移率晶体管”是超晶格具体运用的例证。人们曾试想把弹道晶体管设计成这样:让电子在垂直或平行于薄膜平面的方向上作弹道运动,这样制作出来的晶体管既快速又十分紧凑;把高电子迁移率晶体管设计成这样:通过调整超晶格各层的成分和结构,使载流子从有缺陷层进入晶格完美层,在此完美层中,迁移率大的电子高度集中,因而可提高器件的开关速度。我国在这一领域的研究与国外相比,差距甚大。

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