椭圆偏正光法 怎样用椭圆偏正光法测薄膜厚度 偏正光？偏振光吧 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 椭偏法测量的基本思路是，起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为。
椭圆偏振技术的基本原理 此技术是用来测量“光在反射或穿透样品时，其偏振性质的改变”这样一个数据实验。通常，椭圆偏振多在反射模式下进行。偏振性质的改变主要是由样品的性质，如厚度、复折射率或介电性质（参见英文版Dielectric function），来决定。虽然光学技术受制于先天绕射极限的限制，椭圆偏振却可借由相位资讯及光偏振之状态的改变，来取得埃等级的解析度。在最简单的形式下，此技术可适用于厚度小于一奈米到数微米之间的薄膜。样品必须是由少数几个不连续而有明确介面、光学均匀且具等向性且非吸收光的膜层构成。根据上述的假设，则会不符合标准椭圆偏振处理的程序，因此需要对此技术改进以符合其应用.
怎样用1/4波片产生椭圆偏振光和圆偏振光？ 必须用1/4波片，首2113先用偏振片得到线5261偏光，放入1/4波片，旋转波片，让光轴和偏4102振光的振动方向1653成45度角，则得到圆偏光，如果二者是平行或者垂直（夹角0度或者90度），则得到线偏光，其他情况得到椭圆偏振光。四分之一波片（quarter-wave plate）一定厚度的双折射单晶薄片。当光法向入射透过时，寻常光（o光）和非常光（e光）之间的位相差等于 π/2或其奇数倍，这样的晶片称为四分之一波片或 1/4波片。当线偏振光垂直入射1/4波片，并且光的偏振和云母的光轴面（垂直自然裂开面）成θ角，出射后成椭圆偏振光。特别当θ=45°时，出射光为圆偏振光。玻片的快轴和慢轴，与晶体的类型有关。负晶体的Ve>；Vo，玻片光轴方向平行于玻片平面，负晶体做的四分之一玻片的光轴方向就是快轴方向。正晶体快轴方向垂直于光轴方向位于玻片平面内。
