四氟化碳到底是气体还是液体，有没有毒？ 四氟化碳在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。四氟化碳无毒，但是燃烧后会产生有毒物质。
什么是“全氟化碳”？ 中文名：四氟甲烷；四氟化碳英文名：tetrafluoromethane；carbontetrafluoride分子式：CF4相对分子质量：88.01CAS号：75-73-0危险性类别：第2.2类不燃气体化学类别：卤代烷。
三氟化氮的介绍 三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
