椭圆偏振技术的优势 相较于标准的反射强度测量方法，椭圆偏振有许多优点：椭圆偏振量测在光谱中每个波长可取得至少两个参数，如果采用广义椭圆偏振，则可在各波长取得高达16个参数。因其并非量测光之实际强度，而是量测光之强度比例，椭圆偏振较不受光源之不稳定性或是大气环境吸收光之影响。毋需测量参考物。不用进行Kramers-Kronig分析（en：Kramers-Kronig relation），即可取得介电性质（或折射率）之实部及虚部数值。椭圆偏振技术在研究非等向性的样品测量其反射性质，更具其优势。
同步辐射的原理及特点？ 一．同步辐射的原理自由电子在作加速度运动时，将产生电磁辐射-电子的速率发生变化：在前向产生轫致辐射(bremssthahlung)-电子的方向发生变化：在切线方向产生同步辐射。
薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生
