椭圆偏振技术的优势 相较于标准的反射强度测量方法，椭圆偏振有许多优点：椭圆偏振量测在光谱中每个波长可取得至少两个参数，如果采用广义椭圆偏振，则可在各波长取得高达16个参数。因其并非量测光之实际强度，而是量测光之强度比例，椭圆偏振较不受光源之不稳定性或是大气环境吸收光之影响。毋需测量参考物。不用进行Kramers-Kronig分析（en：Kramers-Kronig relation），即可取得介电性质（或折射率）之实部及虚部数值。椭圆偏振技术在研究非等向性的样品测量其反射性质，更具其优势。
椭圆偏振技术的简介 分析自样品反射之极化光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。椭圆仪可测得复数折射率或介电函数张量，可以此获得基本的物理参数，并且这与各种样品的性质，包括形态、晶体质量、化学成分或导电性，有所关联。它常被用来鉴定单层或多层堆叠的薄膜厚度，可量测厚度由数埃（Angstrom）或数奈米到几微米皆有极佳的准确性。之所以命名为椭圆偏振，是因为一般大部分的极化多是椭圆的。此技术已发展近百年，现在已有许多标准化的应用。然而，椭圆偏振技术对于在其他学科如生物学和医学领域引起研究人员的兴趣，并带来新的挑战。例如以此测量不稳定的液体表面和显微成像。1 基本原理 2 实验细节 2.1 实验装置 2.2 数据搜集 2.3 数据分析 3 定义 3.1 单波长 与 光谱 椭圆偏振技术 3.2 标准 与 广义 椭圆偏振理论(非等向性)3.3 琼斯矩阵 与 穆勒矩阵 型式（去偏极化）4 进阶实验方法 4.1 椭圆偏振成像 4.2 原位椭圆偏振 4.3 椭圆偏振孔隙测定 4.4 磁光广义椭圆偏振 5 优势
椭圆偏正光法测薄膜厚度
