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hmds处理硅片 氧化层厚度 六甲基二硅氮烷与水或醇反应原理

2021-04-26知识5

六甲基二硅氮烷与水或醇反应原理 甲基二硅氮烷与水或醇反应被称为HMDS,实际上就是水解反应。

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如何提高二氧化硅与光刻胶的粘附性 可以在硅片底层上coating一层薄薄的HMDS(hexamethyldisilazane),然后再涂PR,此溶剂的主要作用就是让硅片的SIO2表层结构由亲水性变成。

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