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偏振光学实验的误差分析 椭圆偏振测厚实验目的

2021-04-26知识9

椭偏测厚仪器的基本思想是什么?各主要光学不见的作用是什么?椭圆偏振法测量中的误差可能来源于什么因素 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线根据仪器分析中的方程求解就可以的撒.

线偏振光通过1/4波片,1/2波片后,偏振状态发生了什么变化 线偏光经过四分之一波片后会变为椭圆偏振光或圆偏振光(线偏光振动方向与玻片光轴方向夹角θ=45°时),只有当线偏光的振动方向与检偏器的允许振动方向垂直时,在θ=0、90、180、270度时为线偏振光,且出射线偏光振动方向与入射偏振光的相同,这也是为什么旋转四分之一玻片会有四次消光的原因.

跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率在现代科学技术中,薄膜有着广泛的应用.因此测量薄膜的技术也有了很大的发展,椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一.椭偏法测量具有如下特点:能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级.是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精密方法:如称重法、定量化学分析法简便.可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数.因此可以作为分析工具使用.对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感.是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1,n2,n3,f1,d,l)

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