磁控溅射低真空计异常求助 贝阿德-阿尔铂特真空计
直流磁控溅射功率如何计算？电压电流直接相乘，还是跟面积神马的有关？高手指教，谢谢 电压电流直接相乘。另外，一般直流磁控溅射的电源散热量比较大，真正的使用效率只有40%，算是比较好的。国内最好的还是要属珠海的。用电总功率是指的接入电源之前的电压乘电流，外接功率表就好。实际功率为靶材的电压乘电流。并非显示数据。需要实际测量。
急！！！！磁控溅射，我的靶 电流加不上去， 真空金属溅镀。估计在里从事过源这方面工作的真的极少真空是0.5？百哪个数量级的？1、真空度2、真空室是否洁净3、靶材质量问题4、电压是多少？通常加大的不是电流值度，而是功率！5、冷却水温度过低，导问致真空室产生结露，导致放电，无法正常溅镀。一般冷却水应该是15度6、真空漏气7、真空金属溅镀的介质是什么？是否答氩气？是否已经接入了合适的介质或介质容器是否还有？导入介质的流量是否合适？
