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什么是非晶硅?非晶硅怎么形成的?硅是从什么物质里提取的? 四氟化硅制备气相法二氧化硅

2021-04-26知识3

求单晶硅太阳能电池制工艺?? 单晶硅电池切片要求①切割精度高、表面平行度高、翘曲度和厚度公差小。②断面完整性好,消除拉丝、刀痕和微裂纹。③提高成品率,缩小刀(钢丝)切缝,降低原材料损耗。。

非晶硅的制备 由非晶态合金的制备知道,要获得非晶态,需要有高的冷却速率,而对冷却速率的具体要求随材料而定。硅要求有极高的冷却速率,用液态快速淬火的方法目前还无法得到非晶态。近年来,发展了许多种气相淀积非晶态硅膜的技术,其中包括真空蒸发、辉光放电、溅射及化学气相淀积等方法。一般所用的主要原料是单硅烷(SiH4)、二硅烷(Si2H6)、四氟化硅(SiF4)等,纯度要求很高。非晶硅膜的结构和性质与制备工艺的关系非常密切,目前认为以辉光放电法制备的非晶硅膜质量最好,设备也并不复杂。以下简介辉光放电法。

什么是非晶硅?非晶硅怎么形成的?硅是从什么物质里提取的?

#四氟化硅制备气相法二氧化硅

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