如何处理四氟化硅气体，最好是可以回收利用的好方法，谢谢。 四氟化硅与碳酸钠溶液发生不完全水解反应：3SiF4+2Na2CO3+2H2O=H4SiO4↓+2Na2SiF6↓+2CO2四氟化硅与氢氧化钠反应较为彻底；SiF4+6NaOH=Na2SiO3+4NaF+3H2O
如何把四氟化硅变成无毒物质 加水水解生成硅酸和氯化氢
四氟化硅如何变成硅单质 1950 年制出第一只硅晶体管，提高了人 们制备优质硅单晶的兴趣.年用直拉法(CZ)(CZ)培育硅单晶成 们制备优质硅单晶的兴趣.1952 年用直拉法(CZ)培育硅单晶成 年又研究出无坩埚区域熔化法(FZ)(FZ)，功.1953 年又研究出无坩埚区域熔化法(FZ)，既可进行物理提 纯又能拉制单晶.年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅 采用锌还原四氯化硅法生产纯硅，纯又能拉制单晶.1955 年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅，但不能满足制造晶体管的要求.但不能满足制造晶体管的要求.1956 年研究成功氢还原三氯氢 硅法.氢还原三氯氢 硅法.对硅中微量杂质又经过一段时间的探索后，对硅中微量杂质又经过一段时间的探索后，硅法成为一种主要的方法.硅法成为一种主要的方法.到 1960 年，用这种方法进行工业生 产已具规模.硅整流器与硅闸流管的问世促使硅材料的生产一跃 产已具规模.而居半导体材料的首位.而居半导体材料的首位.60 年代硅外延生长单晶技术和硅平面 工艺的出现，不但使硅晶体管制造技术趋于成熟，而且促使集成 工艺的出现，不但使硅晶体管制造技术趋于成熟，电路迅速发展.电路迅速发展.80 年代初全世界多晶硅产量已达 2500 吨
