孔径是用什么测量仪器和工具测量：一般精度，游标卡尺，内径千分尺，内径百分表.高精度，用光学测量，如光学显微镜，投影仪.大批量同一孔径同一精度，用塞规.
轴径测量有哪些方法？ 生产车间一般常用通用量具量仪和量规来测量轴径。对于高精度的轴径，常用机械式比较仪、光学比较仪、电动比较仪和气动比较仪等与量块进行比较测量。测量时，先用量块调好。
光刻机的对准系统 制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺，这也是国产光刻机望其项背的技术难点之一，许多美国德国品牌光刻机具有特殊专利的机械工艺设计。。
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