关于硅的化合物的化学反应方程式 Si3N4+12HF=3SiF4+4NH33SiF4+2N2+6H2=Si3N4+12HF
四氟化硅制取硅 可以一步反应，2113用氢气还原即5261可SiF4+2H2=4HF+Si(由于反应物皆4102为气体，则须标注沉淀1653符号)条件是高温，原理内类似于四氯容化硅的还原产物中 氟化氢与单质硅 在该条件下极难反应，可以认为不存在可逆反应但是在反应体系中加入一点HNO3，则会让反应发生逆转
氢氟酸与二氧化硅发生反应，生成四氟化硅气体和水，该反应的化学方程式为 4HF+SiO2=SiF4+2H2O
