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二氧化硅与碳反应的化学方程式? 四氟化碳和二氧化硅反应

2021-04-23知识8

四氟化碳对人体有什么危害 你好,楼主:【四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。危害性概述危险性类别:GB2.2 类不燃气体 侵入途径:吸入 健康危害:吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。

四氟化碳和氧气在高温下反应对人体有没有害? 它们不反应。若要反应,需混入有机可燃性气体。在燃烧条件下,会生成有毒的有机氟化物。只将四氟化碳与氧气混合,无论什么条件,都不反应。

二氧化硅与碳反应的化学方程式? 二氧化硅与碳反应的化学方程式:SiO2+2C=高温=Si+2CO(气体)如果C不足,估计会部分生成SiC,部分还是SiO?而CO?应该是C和O?反应生成的。C+O?=CO?二氧化硅,纯的。

#四氟化碳和二氧化硅反应

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