新型传感器有哪些? 一、固态图象传感器(CCD)其工作过程是:首先由光学系统将被测物体32313133353236313431303231363533e58685e5aeb931333337613136成象在CCD的受光面上,受光面下的许多光敏单元形成了许多象素点,这些象素点将投射到它的光强转换成电荷信号并存储。然后在时钟脉冲信号控制下,将反映光象的被存储的电荷信号读取并顺序输出,从而完成了从光图象到电信号的转化过程。CCD传感器由MOS电容组成,金属和Si衬底是电容器两极,SiO2为介质。在金属栅上加正向电压UG,Si中的电子被吸引到衬底和SiO2的交界面上,空穴被排斥,于是在电极下形成一个表面带负电荷的耗尽区。1.CCD的基本结构和原理CCD的基本结构,是在N型或P型硅衬底上生成一层厚度约120nm的二氧化硅层,然后在二氧化硅层上依一定次序沉积金属电极,形成MOS电容器阵列,最后加上输入和输出端便构成了CCD器件。CCD的工作原理是建立在CCD的基本功能上,即电荷的产生、存储和转移。(1)电荷的产生、存储 构成CCD的基本单元是MOS电容器,结构中半导体以P型硅为例,金属电极和硅衬底是电容器两极,SiO2为介质。在金属电极(栅极)上加正向电压 G时,由此形成的电场穿过SiO2 薄层,吸引硅中的电子在Si―SiO2的界面上,而。
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