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氧化层硅 硅板上氧化层厚度的测定方法

2021-04-09知识14

怎样在二氧化硅上生长单晶硅?我对工艺不是很懂.在二氧化硅上直接淀积形成的是非晶硅吗?如果想要在氧化层上长一层单晶硅,或者有没有办法把非晶硅转化成单晶硅?

怎么翻译?对硅热氧化动力学的研究表明,除了几个分子层外,硅热氧化是由氧或水分子H2O(或OH-)扩散通过已形成的二氧化硅层,在Si-SiO2界面与Si反应而生成?

硅板上氧化层厚度的测定方法 纯Si板在氧气和氩气混合环境下热处理,使其表面氧化得到Si/SiO2,不论处理条件,氧化层的厚度应该用什么方法测定呢?需要精确到1纳米。。

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