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磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? 靶材结瘤打磨时需要穿戴什么

2020-07-26知识8

陶瓷压力传感器的适用场合 过程控制、环境控制、液压和气动设备、伺服阀门和传动、化学制品和化学工业及医用仪表等众多领域。热喷涂耐高温陶瓷涂层最能体现热喷涂技术特点,应用效果最突出,是影响最大的一个应用领域。1.热障涂层(TBCs)燃气轮机的受热部件,如叶片、喷嘴和燃烧室处于高温、氧化和高速气流冲蚀等恶劣环境中。对于承受温度高达1 100 ℃的燃气轮机部件,已超过了镍基高温合金使用的极限温度(1 075 ℃)。有效办法就是涂覆绝热性好的高熔点陶瓷涂层,为高温合金基体穿上“防火铠甲”,起绝热屏蔽作用。这称为热障涂层。热障涂层的基本要求是:(1)耐高温;(2)抗高温氧化;(3)与金属基体结合牢固;(4)热导率低,绝热性好;(5)热膨胀系数与金属基体匹配好,耐热循环次数高。实践表明,采用MCrAlY合金作粘结底层,喷涂Y2O3部分稳定的ZrO2绝热陶瓷涂层,涂层坚硬、致密,抗高温燃气冲蚀和抗热震性能优异,即使在1 650 ℃高温下长期使用,其热稳定性和化学稳定性都很好。Y2O3ZrO2中加入少量CeO能进一步改善涂层的抗热震性能。在使用温度更低一些的情况下,可采用MgO或CaO稳定的ZrO2作热障陶瓷障碍层。对热障涂层的粘结底层进行预氧化处理,对热障陶瓷涂层进行渗铝处理,对面层。磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? 第一:靶面金属化合物的形成。由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子,通常是放热反应,反应生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反应无法继续进行。在真空条件下气体之间不可能进行热传导,所以,化学反应必须在一个固体表面进行。反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。在基片表面生成化合物是我们的目的,在其他结构表面生成化合物是资源的浪费,在靶表面生成化合物一开始是提供化合物原子的源泉,到后来成为不断提供更多化合物原子的障碍。第二:靶中毒的影响因素影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶中毒。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率,化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下,参与化合物生成的反应气体量增加,化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度,化合物覆盖面积增加,如果不能及时调整反应气体流量,化合物覆盖面积增加的速率得不到抑制,溅射。抛丸是什么意思?什么情况需要抛丸? 钢结构施工中,2113钢材表面一般在出厂后都有5261浮锈,在构件加工完后成,涂装之前4102,用1653抛丸机进行抛丸处理,抛丸就是将钢珠用抛丸机打向钢材表面,这样可以除掉浮锈,也有喷砂,用铁砂,所以很多时候说成喷砂抛丸;经抛丸处理的钢构件坑洼不平,也可以提高摩擦力;一般大点的钢构厂都有,不然人工除锈很慢,效果也不好。

#抛丸清理

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