上海微电子装备的光刻机能达到什么水平？ https：//www. chainnews.com/articles/ 557004252169.htm 国产光刻机水平究竟如何？12、 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京。
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