四氟化碳对人体有什么危害 你好，楼主：【四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。危害性概述危险性类别：GB2.2 类不燃气体 侵入途径：吸入 健康危害：吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。
四氟化硅是共价化合物还是离子化合物 共价~
四氟化硅属于什么物质类别？ 无机物有机物一般指碳的化合物，当然CO2，CO，石墨，金刚石除外.
